Կաթոդային փոշիացում

Կաթոդային փոշիացման ագրեգատ

Կաթոդային փոշիացում, գազային պարպման ընթացքում կաթոդի նյութի ատոմների կամ մոլեկուլների անջատման և ցրման երևույթը, պայմանավորված է կաթոդի մակերևույթին գազի դրական իոնների հարվածներով։ Բնութագրվում է կաթոդային փոշիացումման գործակցով, որը կախված է կաթոդի նյութից, հարվածող իոնների էներգիայից, զանգվածից, անկման անկյունից և գազի ճնշումից։ Իոնային սարքերում կաթոդային փոշիացում առաջացնում է կաթոդի քայքայում, խողովակի ներսում ցրված նյութի նստվածքներ, գազի ճնշման անկում ևն։ Կաթոդային փոշիացման օգտակար կիրառումներից են մակերևույթների մաքրումը, նյութի կառուցվածքի ուսումնասիրումը, ուղղորդված ատոմային փնջերի ստացումը և, հատկապես, մետաղյա ծածկույթների ու թիթեղների գերբարակ շերտերի պատրաստումը։

Այս հոդվածի կամ նրա բաժնի որոշակի հատվածի սկզբնական կամ ներկայիս տարբերակը վերցված է Քրիեյթիվ Քոմմոնս Նշում–Համանման տարածում 3.0 (Creative Commons BY-SA 3.0) ազատ թույլատրագրով թողարկված Հայկական սովետական հանրագիտարանից  (հ․ 5, էջ 161)։